[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-6] ウイルスの生きたまま観察を実現するためのDLCの電子線に対する耐久性評価

〇上月 具挙¹、縄稚 典生²、塩野 忠彦² (1.広国大保健医療、2.広島県立総合技研)

キーワード：ダイヤモンド・ライク・カーボン、DLC、電子顕微鏡