[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-7] Si(CH₃)₄の放電分解によるa-SiC_x:H薄膜の形成 ― 表面O原子と膜厚に関する考察

〇伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：アモルファス炭化ケイ素