[16p-P7-1~36] 13.9 光物性・発光デバイス

[16p-P7-30] 新規小型蒸着源を用いた有機薄膜の形成

〇久保田 暁¹、小南 裕子²、原 和彦²、中西 洋一郎²、松本 鐘三³、青島 正一³ (1.静岡大大学院、2.静岡大電子研、3.エイエルエステクノロジー)

キーワード：薄膜形成、蒸着源

本研究では、小型で省スペース、低電力、安定性の高い蒸着源の開発を目指し、抵抗加熱法の原理を応用した石英セル小型蒸着源における、膜厚の分布、蒸着時の安定性、信頼性について検討を行った。実験の結果、石英セル小型蒸着源による膜厚制御の可能性が見出された。