[16p-P8-1~23] 21.1 Joint Session K

[16p-P8-5] Bending strength and resistance evaluation of zinc oxide thin films grown on flexible substrates

〇Koki Nagayama¹, Kohei Ashida¹, Yi Sun¹, Oliver Kaltstein¹, Masatoshi Koyama¹, Toshihiko Maemoto¹, Shigehiko Sasa¹ (1.Osaka Inst. of Tech. NMRC)

Keywords:Zinc Oxide, Thin Film Transistors, Flexible

近年,透明フレキシブルディスプレイなどへの応用に向けた酸化亜鉛系薄膜トランジスタなどの研究に注目が集まっている.ここで,プラスチックなどのフレキシブル基板は熱に弱いため高温の熱処理のない加工プロセスが求められる.フレキシブルデバイスとして使用する為には,曲げても壊れないことや曲げに対する強度が必要となる.今回,フレキシブル基板上に作製したZnO薄膜の曲げ状態での特製評価を行ったのでその結果について報告する．