[16p-P8-1~23] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-6] 過酸化水素処理を施した酸化亜鉛単結晶の光導電特性

〇柏葉 安宏¹、阿部 貴美²、佐久間 実緒¹、川崎 浩司¹、今井 裕司¹、中川 玲²、新倉 郁生²、柏葉 安兵衛²、長田 洋² (1.仙台高専、2.岩手大理工)

キーワード：酸化亜鉛、紫外線センサ、光電流

過酸化水素(H₂O₂)処理を施した酸化亜鉛(ZnO)単結晶基板のO面の光導電特性を評価した。
紫外光に対する応答速度および光電流スペクトル測定から，H₂O₂処理によるO面の表面準位密度の低下を示唆する結果が得られた。