[16p-P8-1~23] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-8] 有機金属分解法を用いたSb添加SnO₂薄膜の作製と評価

〇(B)川崎 祐久¹、澤畠 淳二¹ (1.茨城高専)

キーワード：SnO2、MOD法