[16p-P9-1~66] 2 放射線（ポスター）

△ [16p-P9-25] Arプラズマ処理がCdTe放射線検出器の特性に与える影響評価

〇(M2)柿本 祐輔¹、徳田 敏²、吉牟田 利典²、佐藤 敏幸^1,2、椎名 和由³、岡本 祥太³、福井 貴大³、岡本 保³ (1.奈良先端大物質、2.（株）島津製作所、3.木更津高専)

キーワード：CdTe、半導体放射線検出器、Arプラズマ処理

2次元X線検出器の高精細化を目指し、CdTe検出器の画素サイズ微細化の検討を行っている。CdTe結晶表面に微細な画素を形成するには、プラズマを用いた表面処理・加工技術の向上が欠かせない。前回Arプラズマエッチングで、CdTe表面のTeリッチ層が除去され、ショットキー接合ができ、リーク電流の低減が可能であることを述べた¹⁾。今回はArプラズマの処理条件が素子性能にどう影響を及ぼすのか評価した。また、界面の解析を行う事で、リーク電流低減のメカニズム解明を試みた。
【1】柿本祐輔等、第63回応用物理学会春季学術講演会(2016年3月)、21p-P12-10