[17a-301-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17a-301-9] SiC C 面上に水蒸気雰囲気で形成した熱酸化SiO₂膜の
熱処理による電流－電圧特性改善

〇(M1)飯塚 望¹、蓮沼 隆¹、山部 紀久夫¹ (1.筑波大)

キーワード：SiC、絶縁膜