[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[17a-313-1] フッ素およびフロロカーボンイオン（F⁺, CF⁺, CF₃⁺)によるアモルファスカーボン膜（a-C）に対するエッチング特性

〇唐橋 一浩¹、李 虎¹、山田 健太郎¹、伊藤 智子¹、沼沢 聡志²、町田 顕²、石川 清志²、浜口 智志¹ (1.阪大院工　アトミックデザイン研究センター、2.（株）サムスン日本研究所)

キーワード：アモルファスカーボン、フロロカーボンプラズマ、エッチング