[17a-418-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[17a-418-4] Development of a micro Fabry-Pérot Interferometer using the Rayleigh range

〇Yusuke Tsujiie¹, Riki Kanegae¹, Hidekazu Imai², Yoshiyuki Kawamura^1,2 (1.Grad. Sch. of Fukuoka Inst. of Tech., 2.Fukuoka Inst. of Tech.)

Keywords:Fabry-Perot Interferometer, Rayleigh range, Thermal vibration

微小な機械振動子の持つ熱振動は，計測器高性能化の限界を決定する主たる要因となる．本研究室ではマイクロ片持ち梁の熱振動の温度冷却によらない制振に関する研究を行ってきた．近年の研究により，計測系の持つフロアノイズが制振限界を決定することが判明した．今回の研究では新たに，微小振動の計測にファブリ・ペロー干渉計を用いることでS/Nの向上を試みた．レイリー範囲内でキャビティを構成し，その影響を確認した．