[17a-419-1~12] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-419-10] MgO(100)基板上のエピタキシャルSn_xFe_3-xO₄薄膜

荒木 真人¹、梶田 博樹¹、柳瀬 隆¹、島田 敏宏¹、〇長浜 太郎¹ (1.北大工)

キーワード：磁性酸化物、スピントロニクス

MFe₂O₄で表されるスピネルフェライトは高いキュリー温度を持つ酸化物磁性体である。酸化物エレクトロニクス分野では、スピネルフェライトをFETのチャネル層として活用しようとする試みが報告されている。多くはMとして3d遷移金属が導入され半導体的な伝導性を獲得している。これらの報告ではFET動作には成功しており、移動度などの特性の大幅な改善が課題となっている。本研究では室温で金属的な伝導を示すFe₃O₄に第5周期金属であるSnを添加したSn_xFe_3−xO₄エピタキシャル薄膜を得ることに成功し、その伝導特性や磁気特性を評価した。