[17a-501-1~12] 10.1 新物質・新機能創成（作製・評価技術）

[17a-501-1] 高密度Pt粒子下地利用によるFePtナノ微粒子群形成

〇田中 万裕¹、三吉 啓介¹、塚本 新¹ (1.日大理工)

キーワード：FePt粒子、急速昇温熱処理

Fe/ Pt多層薄膜に対して高真空化赤外光照射による急速昇温熱処理, 窒素流入による急速冷却処理( RTA )を行うことでFePt孤立微粒子群が形成可能であることを報告している. 形成粒子形態およびFePtの規則化度はいずれも熱処理条件, 初期積層膜厚に大きく依存しており, 同時に高密度化および高規則化度を達成する事は依然として課題である. そこで, 高密度な金属粒子群を下地として用いることで, FePt粒子群の形成位置誘導による高密度化を検討した. 金属粒子下地の作製には高耐酸化性かつ対象形成粒子の母材であるPtのRTAにより作製, その上にFePt粒子群の形成を試みた.