[17a-502-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-502-9] 高感度水素検出用昇温脱離ガス分析装置の開発
― 酸化物半導体薄膜中の微量水素濃度決定への適用 ―

〇(PC)半那 拓¹、平松 秀典^1,2、坂口 勲³、細野 秀雄^1,2 (1.東工大　元素戦略研、2.東工大　フロンティア材料研、3.物材機構)

キーワード：水素不純物、酸化物半導体、定量分析