[17a-503-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [17a-503-3] EVPE成長AlN/サファイア界面におけるボイド形成メカニズムの検討

〇岸元 克浩¹、船戸 充¹、川上 養一¹ (1.京大院工)

キーワード：窒化アルミニウム、バルク