[17a-513-1~11] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

△ [17a-513-11] サファイア基板上ZnTe薄膜成長における基板面方位による効果

〇中須 大蔵¹、小高 圭佑¹、小林 正和^1,2、朝日 聡明³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.JX金属)

キーワード：テルル化亜鉛、サファイア、極点図

サファイア基板上ZnTe薄膜構造に注目している。面方位の異なるサファイア基板を用いることで、ZnTe薄膜の配向面方位の制御を試みてきた。MBEを用いて様々な面方位の基板上に作製したZnTe薄膜の配向性の結果より、ZnTe薄膜の配向方位の規則性を得ることで、ZnTeの面方位制御が期待できると考えた。サファイアとZnTeの原子配列や面方位の位置関係だけではなく、基板表面のイオン性もZnTeの面方位を制御するのに重要であることが明らかになった。