[17a-B5-1~12] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[17a-B5-3] CMPプロセス導入による周期空間反転AlGaAs導波路の段差低減

〇松本 崇志¹、松下 智紀^1,2、近藤 高志^1,2 (1.東大工、2.東大先端研)

キーワード：AlGaAs