[17a-E204-1~15] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[17a-E204-2] 小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発

〇石井 保行¹、大久保 猛¹、三宅 善信² (1.量研機構、2.㈱ビーム精工)

キーワード：イオンマイクロビーム装置、PIGイオン源