2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-211-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

2017年3月17日(金) 13:30 〜 16:45 211 (211+212)

松木 伸行(神奈川大)、宮島 晋介(東工大)

14:15 〜 14:30

[17p-211-4] 対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜作製におけるRF電力の影響

白取 優大1、ファリス アキラ1、中田 和吉1、宮島 晋介1 (1.東工大工)

キーワード:結晶シリコン太陽電池、パッシベーション膜、アモルファスシリコン