[17p-211-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [17p-211-4] 対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜作製におけるRF電力の影響

〇白取 優大¹、ファリス アキラ¹、中田 和吉¹、宮島 晋介¹ (1.東工大工)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、パッシベーション膜、アモルファスシリコン