[17p-211-1~12] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [17p-211-6] Effective Passivation Method for Nanocrystalline Si Layer Using Phosphosilicate Grass and Improvement of Conversion Efficiency of Crystalline Si Solar Cells

〇(M2)Yuya Onitsuka^1,2, Kentaro Imamura^1,2, Hikaru Kobayashi^1,2 (1.ISIR, Osaka Univ, 2.CREST-JST)

Keywords:crystalline Si solar cell, passivation

我々は、化学的転写法という新規手法を用いて、結晶Si表面にシリコンナノクリスタル（NC-Si）層を形成することで極低反射Si表面を得ることに成功している。NC-Si層をパッシベーションする手法としては、pn接合形成の際にできるリンケイ酸ガラス（PSG）を用いることを提案してきた。今回は、シリコンナノクリスタル層の厚さをコントロールすることで、PSGによるパッシベーション性能を向上することに成功したので報告する。