[17p-211-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [17p-211-6] リンケイ酸ガラスによるシリコンナノクリスタル層の表面パッシベーションと結晶シリコン太陽電池の高効率化

〇(M2)鬼塚 裕也^1,2、今村 健太郎^1,2、小林 光^1,2 (1.阪大産研、2.CREST-JST)

キーワード：シリコン系太陽電池、パッシベーション

我々は、化学的転写法という新規手法を用いて、結晶Si表面にシリコンナノクリスタル（NC-Si）層を形成することで極低反射Si表面を得ることに成功している。NC-Si層をパッシベーションする手法としては、pn接合形成の際にできるリンケイ酸ガラス（PSG）を用いることを提案してきた。今回は、シリコンナノクリスタル層の厚さをコントロールすることで、PSGによるパッシベーション性能を向上することに成功したので報告する。