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△ [17p-302-2] 凸版反転印刷電極による有機トランジスタの作製と相補型集積回路応用
キーワード:印刷、相補型、有機薄膜トランジスタ
凸版反転印刷法で形成した電極を用い,相補型集積回路の試作を行ったので報告する。デバイスの構造は、p-OTFTにはBGBC型,n-OTFTにはTGBC型を用い,p/n-OTFTを別々の層に形成した積層構造である。作製したOTFTは,チャネル長50μmにおいて,p型とn型それぞれで0.1 cm2/Vs以上で動作し,チャネル長2.5μmにおいてもトランジスタ特性を確認した。インバータ回路を作製し,動作を測定した結果,駆動電圧2.5~10 Vで良好な反転特性を得ることに成功した。