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△ [17p-302-3] フェニルBTBT誘導体を用いた短チャネル有機TFTの試作
キーワード:有機トランジスタ、有機半導体、短チャネル
近年、塗布型有機半導体を用いた有機TFTの研究が多くなされ、半導体膜の結晶性を高めることにより高移動度の素子が報告されている。しかし、実用化には結晶性の高い塗布型半導体膜を微細パターニング形成し、チャネル長の短い微細TFTを作製する必要がある。最近、我々はゲート絶縁膜表面の親撥制御と半導体溶液のシーリング塗布法を組み合わせ、短チャネルTFTの作製・評価を報告している。本報告では、高移動度素子の実現に向け、新たに、高秩序なスメクチック相を発現する液晶性有機半導体である、モノアルキルのフェニル‐ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体(Ph-BTBT-10)をラミネーションコート法により塗布することで短チャネルTFT素子を作製し、そのトランジスタ特性を測定・評価したので報告する。