[17p-313-1~16] 8.7 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

△ [17p-313-15] Electron transport properties in gas mixtures containing C₂F₄ gas

〇Satoru Kawaguchi¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kohki Satoh¹, Hidenori Itoh¹ (1.Muroran I. T.)

Keywords:C2F4, Electron collision cross section, Monte Carlo simulation

本研究では，詳細かつ正確なC₂F₄ガスの電子衝突断面積セットの提案を目的としている。これまでに，解離性電子付着および解離性電離断面積を考慮した断面積セットを推定し，推定した断面積セットを用いて得られるC₂F₄ガス中の電子輸送係数の計算値が実測値と一致することを確認した。ここでは，推定した断面積セットの妥当性をC₂F₄ガスを含む混合ガス中の電子輸送係数の計算値と実測値の比較によって検討する。