[17p-313-1~16] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

△ [17p-313-15] C₂F₄ガスを含む混合ガス中の電子輸送特性

〇川口 悟¹、高橋 一弘¹、佐藤 孝紀¹、伊藤 秀範¹ (1.室蘭工大)

キーワード：C2F4、電子衝突断面積、Monte Carlo simulation

本研究では，詳細かつ正確なC₂F₄ガスの電子衝突断面積セットの提案を目的としている。これまでに，解離性電子付着および解離性電離断面積を考慮した断面積セットを推定し，推定した断面積セットを用いて得られるC₂F₄ガス中の電子輸送係数の計算値が実測値と一致することを確認した。ここでは，推定した断面積セットの妥当性をC₂F₄ガスを含む混合ガス中の電子輸送係数の計算値と実測値の比較によって検討する。