[17p-315-1~12] 8.1 Plasma production and control

[17p-315-1] [JSAP Young Scientist Award Speech] Production of microwave-excited meter-scale atmospheric-pressure plasma and its characteristics

〇Haruka Suzuki¹, Yuto Tamura¹, Yaoki Inomata¹, Makoto Sekine¹, Masaru Hori¹, Hirotaka Toyoda¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:atmospheric pressure plasma, microwave plasma

現在、エレクトロニクス製品の製造工程において、真空装置によるコスト増加や工程の複雑化が問題となっており、大気圧プラズマをプロセスへ応用する研究に注目が集まっている。本研究では、導波管内の定在波発生を抑制することにより均一かつ長尺な高密度マイクロ波プラズマを生成する技術を開発し、ガス種によらないメートル級大気圧プラズマを生成するとともに、均一プラズマ維持機構の解明をめざした。