[17p-315-1~12] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-315-1] [講演奨励賞受賞記念講演] マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性

〇鈴木 陽香¹、田村 宥人¹、猪俣 弥雄起¹、関根 誠¹、堀 勝¹、豊田 浩孝¹ (1.名大)

キーワード：大気圧プラズマ、マイクロ波プラズマ

現在、エレクトロニクス製品の製造工程において、真空装置によるコスト増加や工程の複雑化が問題となっており、大気圧プラズマをプロセスへ応用する研究に注目が集まっている。本研究では、導波管内の定在波発生を抑制することにより均一かつ長尺な高密度マイクロ波プラズマを生成する技術を開発し、ガス種によらないメートル級大気圧プラズマを生成するとともに、均一プラズマ維持機構の解明をめざした。