[17p-419-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-419-1] DC及びRFスパッタ法によるZn₃N₂薄膜の合成

〇上所 寛典¹、賈 軍軍¹、中村 新一¹、重里 有三¹ (1.青山学院大学)

キーワード：薄膜