[17p-501-1~7] 10.1 新物質・新機能創成（作製・評価技術）

[17p-501-6] パルスレーザー蒸着(PLD)装置の高度化および金属薄膜における表面モフォロジーの評価

〇(B)鈴木 雄太¹、小嗣 真人¹ (1.東理大基礎工)

キーワード：PLD、磁性薄膜、人工格子

本研究では、パルスレーザー蒸着(PLD)法の安定化技術を開発すると共に、蒸着膜の表面モフォロジーを評価したのでその結果について報告する。レーザーパワー・ターゲット位置・シャッターの自動制御により、蒸着レートの安定性は±1%となり、表面ラフネスはおおむね1nmとなった。これより平坦性の高い金属薄膜がPLDで作成可能であることを実証できた。