[17p-F204-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[17p-F204-12] Siフォトニック結晶スローライト変調器へのドーピング位置ずれの影響

〇寺田 陽祐¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：光変調器、シリコンフォトニクス、p-n接合