[17p-P3-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P3-12] AlN/SiC近接昇華ヘテロ成長における界面熱分解制御

〇伊藤 聡司¹、堂島 大地¹、芦田 晃嗣¹、佐藤 一成²、山本 喜之²、金子 忠昭¹ (1.関学大理工、2.住友電工 伝デ研)

キーワード：窒化アルミニウム、近接昇華法、炭化ケイ素