13:30 〜 15:30 [21p-PB1-16] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマの基板入射フラックスに関する数値解析 〇小嶋 正宏1、大木 一真1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)