09:00 〜 09:15 △ [20a-222-1] 多結晶HfO2薄膜における酸素欠陥の凝集・拡散に関する理論的検討 〇(M2)肥田 聡太1,2,3、森田 巧1、山崎 隆浩3、奈良 純3、大野 隆央3、木下 健太郎1 (1.東京理科大、2.鳥取大工、3.物材機構)