15:30 〜 15:45 △ [21p-135-10] Ge表面におけるグラフェン・アシストエッチングの基礎研究~エッチング速度の温度依存性と活性化エネルギーの評価~ 〇平野 智暉1、中田 裕己1、山下 裕登1、李 韶賢1、川合 健太郎1、山村 和也1、有馬 健太1 (1.阪大院工)