09:30 〜 09:45 △ [18a-233-1] 高温プロセスで形成するバイオプローブのための2段階Poly-Si TSV構造 〇安井 大貴1、山際 翔太1、久保 寛1、井戸川 槙之介1、久保田 吉博1、河野 剛士1 (1.豊橋技術科学大学)