16:45 〜 17:00 △ [20p-133-11] 電子エネルギー損失分光法を用いた高パッシベーション性能TiOx/SiOx/c-Siヘテロ界面の局所構造の解明 〇望月 健矢1、後藤 和泰1、黒川 康良1、山本 剛久1、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工)