16:00 〜 18:00 △ [18p-PA6-17] ALD-Al2O3/GaN MOSにおける高圧水蒸気処理の時間依存性 〇(M2)中村 翼1、上沼 睦典1、藤本 裕太1、石河 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大)