13:30 〜 15:30 [21p-PB1-2] プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成(III) 〇竹中 弘祐1、遠藤 雅1、吉谷 友希1、内田 儀一郎1、江部 明憲2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)