15:45 〜 16:00 △ [19p-234A-9] 周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価 〇岩佐 健1、大賀 友瑛1、土嶺 信男2、金子 智3,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技総研)