13:30 〜 15:30 [18p-PA2-18] マイクロ波プラズマCVD法で銅箔基板上にh-BN 膜の成長 〇アディカリ スディープ1,2、サラマ スバス1,3、朱 儒成1、梅野 正義1 (1.シーズテクノ、2.中部大、3.名工大)