13:30 〜 15:30 [19p-PA4-19] レーザーリフトオフによるGaNエピ成長用サファイア基板の再利用技術 〇渡邊 一世1、田畑 晋2、高橋 邦充2、笠松 章史1 (1.情報通信研究機構、2.ディスコ)