11:45 〜 12:00 △ [19a-133-11] BiFeO3薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の高出力化 〇(D)荒牧 正明1、吉村 武1、村上 修一2、佐藤 和郎2、藤村 紀文1 (1.大阪府大工、2.大阪技術研)