15:45 〜 16:00 [20p-141-7] 低温長時間アニールによるHf-Zr-O薄膜の結晶相変化の追跡 〇右田 真司1、太田 裕之1、渋谷 圭介1、山田 浩之1、澤 彰仁1、松川 貴1、鳥海 明2 (1.産総研、2.東大院工)
17:45 〜 18:00 [20p-141-11] HfO2系強誘電体ゲートトランジスタの低電圧動作 〇右田 真司1、太田 裕之1、山田 浩之1、渋谷 圭介1、澤 彰仁1、松川 貴1、鳥海 明2 (1.産総研、2.東大院工)