16:30 〜 16:45 △ [21p-146-12] スパッタ条件制御による-c/+c 極性反転AlN 構造の作製 〇林 侑介1、上杉 謙次郎2、正直 花奈子3、三宅 秀人1,3 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大地域イノベ推進機構、3.三重大院工)