16:00 〜 18:00 [19p-PB7-7] SiGe/Si(110)構造の表面形状形成過程に関する研究 〇(M1C)斎藤 慎吾1、佐野 雄一1、山田 崇峰1、原 康祐1、山中 淳二1、有元 圭介1、中川 清和1 (1.山梨大学)