藤井章輔

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座長等

2018年9月20日(木) 13:30 〜 18:30 141 (141+142)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| 強誘電HfO₂技術の最新動向　～プロセス・物性からデバイス・回路応用まで～

[20p-141-1~13] 強誘電HfO₂技術の最新動向　～プロセス・物性からデバイス・回路応用まで～

山田智明(名大)、藤井章輔(東芝メモリ)