2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[B-5] テガサイエンス(株)

■モジュール式真空薄膜成膜システム ■超高真空対応成膜コンポーネント各種(電子ビーム蒸着源、アトムソース、ナノクラスターソース、有機蒸着源など)