[18a-136-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[18a-136-6] 超臨界二酸化炭素雰囲気中レーザー加工における噴流の影響を回避する照射条件の決定

北原 祐希¹、岡田 雄仁¹、伊藤 杏奈²、古田 裕正²、〇(PC)吉木 啓介¹ (1.兵県大、2.パナソニックデバイスSUNX株式会社)

キーワード：超臨界流体、二酸化炭素、レーザー穴あけ加工

超臨界二酸化炭素(scrCO₂)雰囲気中でレーザー穴あけ加工を行う場合，雰囲気温度，圧力によってレイリー数を大幅に増大させることで加工くず排出性等が増大する．しかし，金属を始めとした不透明材料に対しては対流が加工を阻害するため，レイリー数の低いgas-likeなscrCO₂を使用してきた．本報告では，加工に用いるレーザーの間欠照射の照射パターンを最適化することで対流の悪影響の抑制し，liquid-like scrCO₂雰囲気下でgas-like scrCO₂以上の加工性能の向上を実現した．