[18a-143-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

[18a-143-5] ナノピペットを有するプローブ顕微鏡を用いた
大気圧プラズマジェットの局所照射による微細堆積加工法の開発

〇山本 将¹、森松 大亮¹、下村 勝¹、荻野 明久¹、永津 雅章²、岩田 太^1,2 (1.静大院工、2.静大電研)

キーワード：大気圧プラズマジェット、微細堆積加工法、ナノピペット