[18a-145-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

[18a-145-7] 陽極酸化High-k酸化膜上に塗布形成したPS/TIPS-Pentacene垂直層分離薄膜を用いた有機FETの高性能化と面内配向制御

〇伊東 栄次¹、上野 純平¹ (1.信州大学)

キーワード：有機トランジスタ、面内配向制御、high-k 酸化膜

本研究では低温プロセスである陽極酸化を用いて製膜したHigh-k酸化膜上にポリスチレン(PS)とＴＩＰＳ-pentaceneブレンド溶液を塗布形成しPS/TIPS-pentaceneが垂直方向に層分離した低電圧駆動有機薄膜トランジスタの作製と評価を行った．メニスカス法を用いた掃引速度制御によりTIPS-pentacene層の結晶サイズや掃引方向への面内配向制御を試み5V以下の低電圧動作とSS値が0.2 V/dec以下の優れたOn/Off特性，0.1-1 cm²/(Vs)の移動度を得た．また、断面方向の組成分布やIn-plane 結晶解析などの薄膜分析を行い相分離と面内配向を実験的に分析・確認した．